WUD-20, WUD-25, WUD-26 датчики давления с дисплеем для сверхчистых сред
Датчики давления WUD-20, WUD-25, WUD-26 предназначены для измерения и преобразования давления сверхчистых сред в электрический сигнал постоянного тока или напряжения.
Области применения WUD-20, WUD-25, WUD-26 с дисплеем для сверхчистых сред:
- Производство полупроводников, плоских панелей и фотоэлектрических устройств.
- Подача сверхчистого газа в системах для производства полупроводников.
Особенности датчиков давления WUD-20, WUD-25, WUD-26:
- Датчики оснащены поворотным, легко читабельным с любой позиции, светодиодным дисплеем.
- Высокоточное измерение давления до 0,15% от погрешности системы (RSS).
- Показания давления на базе реального вакуума и электронные средства экранирования помех и подавления шумов сигнала гарантируют высокую точность и долговременную стабильность измерений давления.
- Активная температурная компенсация снижает влияние изменений температуры на преобразователь давления, позволяя безопасно работать в условиях больших колебаний температуры, например, при эффекте Джоуля-Томсона в случае расширения газа.
- Преобразователи WUD-25 (проходной) и WUD-26 (для поверхностного монтажа) устойчивы к напряжениям перекоса, часто возникающим во время монтажа. Специальная конструкция тонкопленочного датчика исключает риск отказа датчика из-за нагрузок на технологическом соединении или сварных швах.
Технические характеристики
Диапазон измерений (Пределы уставок) | 0-1 бар до 0-360 бар |
Основная погрешность | 0,15% RSS |
Нелинейность | до 0,1% от диапазона |
Температура контролируемой среды | -20...+100°C |
Материалы изготовления | Нержавеющая сталь |
Исполнение по степени защиты | IP20, IP65, IP67 |
Питание | = 10...30 В, = 14...30 В |
Тип электроподключения | Байонетный разъем 4-контактный; круглый разъем M12x1 4-контактный; круглый разъем M12x1 5-контактный; кабельный вывод 1,5 м или 3 м; разъем Sub-D HD 15-контактный; разъем Sub-D 9-контактный |
Принцип действия | Металлический тонкопленочный сенсорный элемент |
Стандартный комплект поставки
- Датчик давления WUD-20; WUD-25; WUD-26 (в соответствии с заказом).
- Руководство по эксплуатации.